微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件，以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。随着科技的不断进步，传统 “宏” 机械制造技术已难以满足 “微” 机械和 “微” 系统的高精度制造与装配加工要求，微纳制造技术因此成为了微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。

微纳制造包含微制造和纳制造两个层面。

在微制造方面，当下存在两种不同的工艺方式。一种是基于半导体制造工艺的技术，如光刻技术、LIGA 技术、键合技术、封装技术等。这类工艺技术相对成熟，然而却普遍面临加工材料单一、加工设备成本高昂等问题。并且，它们仅能加工结构较为简单的二维或准三维微机械零件，对于复杂的三维微机械零件加工则无能为力。另一种是机械微加工，它是采用机械加工、特种加工及其他成形技术等传统加工技术发展而来的微加工技术。其优势在于能够进行三维复杂曲面零件的加工，且加工材料不受限制，具体涵盖微细磨削、微细车削、微细铣削、微细钻削、微冲压、微成形等。

纳制造则是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术，常见的包括纳米压印技术、刻划技术、原子操纵技术等。这些技术在纳米尺度上对物质进行精确操控和构建，为制造具有特殊性能的纳米级产品提供了可能，在纳米电子学、纳米材料学等前沿领域发挥着关键作用 。

发展趋势

更高的分辨率和精度：随着科技的不断发展，对微纳制造技术的分辨率和精度要求越来越高。研究人员不断探索新的光刻技术、加工工艺和材料，以实现更小尺度的结构制造，满足纳米电子学、量子技术等领域的发展需求。

多功能集成：将不同功能的微纳结构和器件集成在一个芯片或系统中，实现多功能、高性能的微纳系统。例如，将传感器、处理器、通信模块等集成在一起，形成具有智能化、微型化特点的物联网节点或生物芯片。

与新兴技术的融合：微纳制造技术与人工智能、大数据、生物技术等新兴技术相结合，开拓新的应用领域和研究方向。例如，在生物医学领域，利用微纳制造技术制备的微流控芯片和生物传感器，结合人工智能算法，可实现对生物样本的快速、精准分析和诊断。

绿色制造和可持续发展：在微纳制造过程中，注重采用环保材料、降低能源消耗和减少废弃物排放，实现绿色制造和可持续发展。例如，研究开发新型的光刻胶材料和刻蚀工艺，以减少对环境的污染；探索可回收、可降解的微纳材料，降低资源消耗。