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微纳制造技术全面解析

微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件，以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。随着科技的不断进步，传统 “宏” 机械制造技术已难以满足 “微” 机械和 “微” 系统的高精度制造与装配加工要求，微纳制造技术因此成为了微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。微纳制造包含微制造和纳制造两个层面。在微制造方面，当下存在两种不同的工艺方式。一种

2025-04-10

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