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轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达150mm。
应用于：
台阶高度：2D和3D台阶高度
纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
形状：2D和3D翘曲、形状
应力：2D和3D薄膜应力
缺陷检测：2D和3D缺陷表面形貌
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轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达150mm。
应用于：
台阶高度：2D和3D台阶高度
纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
形状：2D和3D翘曲、形状
应力：2D和3D薄膜应力
缺陷检测：2D和3D缺陷表面形貌
