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微流控涂层膜厚仪的磁感应测量原理基于磁通量的变化和磁阻的测量来确定涂层厚度。在测量过程中，仪器使用特定探头，将磁通量从探头通过非铁磁涂层流入铁磁基体。涂层的存在会阻碍磁通量的流动，涂层越厚，磁通量受到的影响越大，磁阻也会相应增大。
可测量5层内重叠薄膜的厚度和折射率，如氧化物，氮化物，光阻，导电玻璃，聚合物和半导体薄膜等透明或半透明薄膜。
主要技术指标参数：
对特定的介电质测量厚度范围20nm到150um。
对特定的材料厚道测量精度小于厚度的1%。
测量波长：350nm到1450nm。
自动测量点定位的功能，电机驱动的样品台最大可满足直径200mm样品使用。
