采用非接触MOS（多光束光学传感）激光技术；不但可以对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行准确的测量，而且还可二维应力 Mapping成像统计分析；同时准确测量应力、曲率随温度变化的关系。

测量范围：1MPa-4000MPa,张应力或压应力    

测量原理：激光扫描无损害非接触式测量  

基片尺寸：8寸并向下兼容6、5、4、3、2英      

加热功能：~500℃

XY双向程序控制扫描平台扫描范围：300mm；2m（可选）；二维应力分析

扫描速度：可达20mm/s（x,y）；

XY双向扫描平台扫描步进/分辨率：1 μm；

平均曲率分辨率：20km，5×10-5 1/m (1-sigma)；

薄膜应力测量范围：3.2×106到7.8×1010dynes/cm2（或者3.2×105Pa to7.8×109Pa）(1-sigma)；

应力测量分辨率：优于0.32MPa或1% (1-sigma);

应力测量重复性：0.02MPa(1-sigma)；

平均曲率重复性：<5×10-5 1/m (1 sigma) (1-sigma)；

程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、全样品扫描；

成像功能：样品表面2D曲率成像，定量薄膜应力成像分析；

测量功能：曲率、曲率半径、应力强度、应力和翘曲等；

一频率运动或扫描，从而有效避免外界振动对测试结果的影响；同时提高测试分辨率；