台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度,台阶高度,二维粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三维粗糙度(Sa,Sq,Smax),划痕截面面积,划痕体积,磨损面积,磨损体积,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息,或三维信息过于粗糙的现状。
最大扫描长度160 mm 最大样品高度40 mm 垂直扫描范围900 um 垂直分辨率0.1 nm XY移动范围150*150 mm 探针压力0.03-15 mg 单次扫描最大采样点数120000 主要用于测量薄膜材料厚度(2D)和表面形貌(3D),可以精确定量台阶高度、线粗糙度、薄膜曲率半径、应力等几何参数。