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主要靠加在阴极表面的电场发射电子，阴极为晶体钨。具有亮度高、分辨率高、寿命长、能实现快速扫描观察和记录等优点，分辨率已达到3nm甚至更高，还可在低加速电压下进行高分辨率观察，能直接观察绝缘。
工艺能力：
• 电子枪：场发射电子源
• 加速电压：0.5 至2 kV
• 束流：0.2至 1 nA
• 分辨率：<10 nm （@1kV）
• 放大倍数：250 至130,000x (2048×2048pixels)
• 样品尺寸：最大 100×60 mm
• 样品高度：最大 30 mm
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主要靠加在阴极表面的电场发射电子，阴极为晶体钨。具有亮度高、分辨率高、寿命长、能实现快速扫描观察和记录等优点，分辨率已达到3nm甚至更高，还可在低加速电压下进行高分辨率观察，能直接观察绝缘。
工艺能力：
• 电子枪：场发射电子源
• 加速电压：0.5 至2 kV
• 束流：0.2至 1 nA
• 分辨率：<10 nm （@1kV）
• 放大倍数：250 至130,000x (2048×2048pixels)
• 样品尺寸：最大 100×60 mm
• 样品高度：最大 30 mm
